MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro Electromechanical System)，利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS主要包含两个部分：传感器和执行器。 与传统 ...

近年来，MEMS技术以其惊人的创新潜力，成为科技领域的一颗耀眼明星。 MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，MEMS ...